Dezvoltarea microîmbinărilor pentru fabricarea dispozitivelor electromecanice MEMS

Abstract

Teza de doctorat îşi propune o cercetare detaliată a experimentărilor celor trei tipuri de microîmbinare: eutectică, cu fascicul Laser şi termosonică, de evidenţiere a principalelor influenţe ale parametrilor tehnologici pentru microîmbinările tip: folie-folie, fir- folie din materiale metalice omogene şi eterogene, fir-fir pentru materiale metalice omogene şi folie-folie pentru materiale polimerice. De asemenea, teza îşi propune conceperea, realizarea şi verificarea în funcţionare a unui dispozitiv de microîmbinare termosonică hibridă Laser- Ultrasunete, în care componentele MEMS pentru îmbinare sunt preîncălzite cu fascicul Laser după care urmează operaţia de îmbinare cu ultrasunete. Un obiectiv important al tezei de doctorat este de concepere, realizare şi verificare în funcţionare a unui dispozitiv utilizat pentru microîmbinarea foliilor din polimeri cu fascicul de la o diodă Laser în scopul de a îmbina părţi componente nemetalice ale MEMS sub temperatura de 240ºC. O propunere importantă pentru teză, este de a cocepe, realiza şi a verifica un cap activ modular de microîmbinare termosonică hibridă cu Laser şi ultrasunete.